半導(dǎo)體組裝和封裝過(guò)程中選擇的質(zhì)量檢查方法通常主要包括目視檢查,飛針測(cè)試,針床測(cè)試,自動(dòng)光學(xué)測(cè)試和功能測(cè)試等。但是,隨著封裝技術(shù)的不斷發(fā)展,傳統(tǒng)的檢測(cè)方法長(zhǎng)期以來(lái)無(wú)法滿足各種先進(jìn)包裝設(shè)備的測(cè)試要求。以半導(dǎo)體芯片封裝為例,CSP的種類越來(lái)越多,包括柔性封裝,剛性基板,引線框架,網(wǎng)格引線和微成型CSP等。不同的CSP結(jié)構(gòu)的技術(shù)也不同,但是它們基本上基于倒裝芯片鍵合(FCB)和球柵陣列(BGA)的兩種技術(shù)。
首先,倒裝芯片焊接技術(shù)主要具有三種電連接方法:焊球凸點(diǎn)法,熱壓焊接法和導(dǎo)電膠粘接法。無(wú)論采用哪種方法,凹凸連接在包裝過(guò)程中都是不可見(jiàn)的。此外,在包裝過(guò)程中,焊盤長(zhǎng)時(shí)間暴露在空氣中很容易引起氧化,并且所有連接點(diǎn)都可能在連接焊點(diǎn)處出現(xiàn)裂紋,無(wú)連接,焊點(diǎn)空隙,導(dǎo)線和導(dǎo)線過(guò)多壓力焊接缺陷,模具和連接界面缺陷等。另外,在封裝過(guò)程中,硅晶片也可能由于壓力而引起微裂紋,并且通過(guò)導(dǎo)電粘合劑連接的膠在封裝過(guò)程中也可能導(dǎo)致氣泡。這些問(wèn)題將不利地影響集成電路的封裝質(zhì)量。
通常,如果這些表面缺陷不可見(jiàn),則無(wú)法通過(guò)傳統(tǒng)檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行區(qū)分,并且傳統(tǒng)的電氣功能測(cè)試需要對(duì)測(cè)試目標(biāo)的功能有清晰的了解,并且要求測(cè)試技術(shù)人員非常專業(yè),此外,電功能測(cè)試設(shè)備復(fù)雜,測(cè)試成本高,測(cè)試的有效性取決于測(cè)試人員的技術(shù)實(shí)力,這給集成電路的封裝和測(cè)試帶來(lái)了新的困難。
因此,為了有效解決2D和3D封裝等工藝中的內(nèi)部缺陷檢測(cè)問(wèn)題,出現(xiàn)了將X射線檢查技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝和測(cè)試工藝的方法,與上述測(cè)試方法相比,具有更多的優(yōu)勢(shì)。為了提高“一次合格率”并實(shí)現(xiàn)“零缺陷”的總體目標(biāo),X-ray檢測(cè)提供了更為有效的排查方法。
LX2000是日聯(lián)科技生產(chǎn)的針對(duì)半導(dǎo)體封裝測(cè)試的專業(yè)智能檢測(cè)裝備。這種X射線實(shí)時(shí)成像設(shè)備可以很好地滿足半導(dǎo)體測(cè)試的要求。 LX2000是一種新型的在線X射線檢查系統(tǒng),具有檢查面積大,分辨率高和放大倍數(shù)高的特點(diǎn)。該系統(tǒng)以封閉射線源和平板探測(cè)器為核心組件,具有良好的探測(cè)效果,可以有效地探測(cè)封裝,焊點(diǎn),插件等。
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